INFICON IC6膜厚仪-产品详情

功能

INFICON ModeLock 技术确保获得最高、最稳定的速率和厚度测量分辨率，即使在速率极低的情况下
Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值，可提高厚度测量的精度
支持最多六个来源同时共镀膜
彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz
USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录
强大的 I/O 凭借其灵活性可融入简单或复杂的系统（使用可扩展输入 (28) 和输出 (24 继电器，14 TTL 输出)，并充分利用逻辑功能（100 个逻辑语句）
6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控
可容纳最多 50 个过程，每个过程 200 层，这些过程关联到一起，总共可容纳 10,000 层。
多路传感器可平均分配为 8 个传感器
4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆
可选以太网通信
符合 RoHS 标准

典型应用

高端光学镀膜

规格

类型		IC6
测量性能
频率分辨率		±0.0035 Hz @ 6 MHz
厚度和速率分辨率/测量 (1)		±0.00433 Å
测量频率范围		6.0 to 4.5 MHz (fixed)
厚度精度 (2)		0.5%
测量周期		0.10 s
多个测量值平均		0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
设计功能
Auto Z		yes
自动色调		yes
共沉积		yes (up to 6 sources)
过程配方和数据管理
材料计划		32
过程层（每个过程）		200
过程		50 (processes can be linked together)
USB 存储器		yes
数据记录		yes
硬件功能
传感器 (3)
单		8
双 / CrystalTwo®		4 / 8 (with CrystalTwo® Switch)
CrystalSix®		8
Crystal 12®		8
通用		8
来源控制
来源数量 (4)		up to 6
来源控制电压		0 to +/-10 V, adjustable
输出分辨率		15 bits over full range (0 to 10V)
坩埚位置		64
输入 / 输出
输入		14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground
输出		8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs
记录器输出 (4)		0 to +10 V, adjustable
逻辑语句		100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement
通信
标准		RS232
可选		Ethernet
显示器
厚度分辨率		1 Å for 0 to 9.999 kÅ 10 Å for 10.00 to 99.99 kÅ 100 Å for 100.0 to 999.9 kÅ 1 kÅ for 1000 to 9999 kÅ
速率分辨率		0.001 for 0 to 9.999 Å/s if rate filter time setting is 10 seconds or greater 0.01 for 0 to 99.99 Å/s 0.1 for 100 to 999.9 Å/s
操作
电源要求		100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz
工作温度		0 to 50 C (32 to 122 F)
尺寸，不包括安装件（高 x 宽 x 深）		5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm)
重量		23 lbs (10.5 kg)

(1) 工具/密度 = 100/1，基本频率 = 6 MHz

(2) 因流程而异；数值反映典型精确度

(3) 每种型号的最大配置

(4) IC6 有 6 个 DAC 输出标准，另有 6 种标准可选择性地添加。这 12 个标准中的任何一个都可作为源控制电压或记录器输出进行配置，但可同时控制的源的数量为 6

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