功能
- 基于四极的气体分析系统可监控复杂的过程。
- 支持 24/7 全天候监控，可最大限度地提高产量和吞吐量，从而大幅降低成本。
- 小巧灵活、经济实惠，适合安装到任何高压真空室。
- HexBlock™ 采样系统提高性能。
- 内置 CDG，支持过程压力监控和真空联锁。
- 可选校准基准（用于调节）和气体基准。
- 长寿命封闭式离子源可检测亚 ppm 量级的污染，同时耐最强的腐蚀性和活性气体。
- 轻便，易携带。
| CPM Compact Process Monitor | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 911-451-P1 | Converter, USB to RS232 |
| 923-720-G1 | 1000 Torr CPM CDG，包括电缆 |
| 923-720-G2 | 100 Torr CPM CDG，包括电缆 |
| 923-720-G3 | 10 Torr CPM CDG，包括电缆 |
| 923-720-G4 | 1 Torr CPM CDG，包括电缆 |
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